.NM version, non-magnetic;

.UHV version, compatible with 2E-11 mbar

General Information

1          Orientation of movement

X，Y，Z

2          Bottom size * height

55 mm × 55 mm × 55 mm

3          Main Material

Aluminum alloy / Stainless steel

4          Travel

150 um × 150 um × 150 um

Movement & Positioning

5          Motion Resolution

0.2 nm

6        Repeatable accuracy of motion

15 nm

7          Linearity error

< 0.1%

8         Resonance frequency - 50g load

220 Hz

9          Rigid

0.5 N/um

10         Maximum load

500 g

11         Closed-loop sensors

Capacitive

12         Capacitance accuracy

0.3 nm

13         Piezoelectric capacitance (X,Y)

Max. 120 V

Other

14         Operating temperature

-20 ~ 80 °C

15         Quality

200 g

16         Cable length

1.5 m / micro-Sub connector