▌λ/10000--0.02nm 級光柵周期解析精度
基于Littrow 自準(zhǔn)式入射結(jié)構(gòu),系統(tǒng)通過精密調(diào)整入射角與衍射光強反饋,實現(xiàn)0.02nm 級光柵周期測試靈敏度。相較傳統(tǒng)透射電子顯微鏡、原子力顯微鏡分析法,分辨率提升100倍。
▌0.005°--K 矢量高精度測試
獨家算法實時解算光柵面內(nèi)K 矢量角度,K 矢量精度可達(dá)0.005°,全面監(jiān)測光柵器件面內(nèi)K矢量異常。某AR 光波導(dǎo)客戶借此將產(chǎn)品調(diào)試周期從48 小時縮短至6 小時。
▌支持多種光柵參數(shù)測試
光柵測試系統(tǒng)支持多類型光柵測試,包括:閃耀光柵、反射全息光柵、透射全息光柵和布拉格體全息光柵等。助力VR、AR 行業(yè)客戶。(實際使用請咨詢)
二、硬核技術(shù)矩陣:實驗室精度,工業(yè)級可靠性
? 卓立四軸軸微米級定位系統(tǒng)
位移軸光柵尺反饋,重復(fù)定位精度±3μm,閉環(huán)分辨率:1μm
旋轉(zhuǎn)軸光柵尺反饋,重復(fù)定位精度±0.003°,閉環(huán)分辨率:0.000152°
支持Φ254mm 超大光柵片全域mapping,40s 完成單點測量,較手動調(diào)節(jié)效率提升50 倍。
光柵mapping 結(jié)果
三、從實驗室到產(chǎn)線:全場景解決方案
? 科研模式
開放API 接口,支持自定義測量Recipe,支持自定義數(shù)據(jù)處理。
? 工業(yè)模式
真空吸附,自動上下料,無縫對接MES/QMS 系統(tǒng),全自動檢測
四、系統(tǒng)關(guān)鍵參數(shù)一覽表
單點周期重復(fù)精度
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≤0.02nm
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單點周期絕對精度
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≤ ±0.1nm
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單點光柵面內(nèi)矢量角絕對精度
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≤±0.01°
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單點光柵面內(nèi)矢量角重復(fù)精度
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≤±0.005°
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單點測試時間
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45s
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可測光柵類型
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反/透全息光柵、閃耀光柵、全息體光柵
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可測光柵尺寸
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小于 8 英寸(支持定制)
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