光柵刻畫(huà)線(g/mm) |
300 |
1200 |
2400 |
分辨率(nm) |
0.15 |
0.03 |
0.02 |
光譜范圍(nm) |
20-80 |
5-20 |
1-5 |
光譜范圍(eV) |
65-15 |
248-62 |
1240-248 |