APPLICATION
本文主要介紹了主動隔振平臺在半導體行業(yè)的應用
光柵元件內(nèi)部結構的微小缺陷，即使納米級別的光柵周期差異即可導致意想不到光線傳輸路徑，而K矢量的細微畸變即可引起光線傳播串擾，即可造成成像模糊以及色偏。而傳統(tǒng)的接觸式測量方式容易劃傷膜層，且測量精度和效率也無法滿足日益增長的需求。卓立VHG-M光柵測試系統(tǒng)基于Littrow自準式入射結構，系統(tǒng)通過精密調(diào)整入射角與衍射光強反饋，實現(xiàn)0.02nm級光柵周期測試靈敏度。相較傳統(tǒng)透射電子顯微鏡、原子力顯微鏡分析法，分辨率提升100倍，同時大幅提高測試效率及精準度。
本文探討了振動控制技術與精密平臺在芯片制造中的關鍵作用，對比分析了主動與被動隔振系統(tǒng)的技術特點及應用場景。研究指出，主動隔振系統(tǒng)更適合先進制程的低頻振動控制，而被動隔振在高頻段更具成本優(yōu)勢。結合高精度平臺和運動控制系統(tǒng)，可顯著提升設備穩(wěn)定性，為半導體制造工藝提供可靠的精度保障。
卓立光機、激光和光譜產(chǎn)品在半導體行業(yè)的部分應用
卓立的三線擺TPR氣浮平臺加上韓國Park的桌面式主動隔振臺I4，為AFM應用提供主機的主被動隔振方案
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